温控器,顾名思义,就是测量并调控温度的设备。它通过读取温度传感器的测量数值,并通过计算机程序执行复杂智能的控制算法,利用连接的执行器件精确调节加热器等负载的温度。是工业生产、自动化产线上必不可少的核心配件。
而与普通PID温控器不同,半导体生产设备中许多环节,比如扩散、氧化、刻蚀、PECVD等过程使用的串级温控器需要高端复杂调节算法,以此来应对半导体设备中温度控制滞后较大且扰动多等问题。作为温控器应用的高端市场,半导体制造领域对温控器的产品精度、可靠性、抗干扰性和稳定性要求均非常苛刻。
一位光伏制造业内人士指出,生产晶体硅太阳能电池的产线上,温度控制更是堪比灵魂。比如扩散炉需要将炉内温度按照一定升温速率加热到700℃-1040℃左右,并且要快速将温度波动稳定在±0.5℃内,这对控温的精准度、可靠性和稳定性有极致的苛刻要求,温度一旦发生偏差,产品性能就会大打折扣甚至报废。
超高的技术门槛使得能进入半导体领域的串级温控器厂商屈指可数,以往只有日本AZBIL、英国PMA和美国WATLOW旗下EUROTHERM等少数品牌可以满足要求。而宇电新推出的AI-8半导体设备专用串级温控器去年成功进入光伏制造领域,成为目前唯一一家产品通过光伏半导体市场验证的国产温控器企业。